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觸摸屏氣體流量控制器是一種測(cè)量氣體流量的儀表，其測(cè)量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償，可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。可以地控制氣體的給定量，這對(duì)很多工藝過(guò)程的流量控制，是用于對(duì)于不同氣體的比例控制。直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，輸出質(zhì)量流量信號(hào)，不用其他設(shè)備?？梢缘臏y(cè)量微小流量，采用分流裝置，又可以測(cè)量大流量，而且溫度，壓力范圍很大。流量控制器功能：①流量設(shè)定：在閥控狀態(tài)下，以F.S滿量...

氣體質(zhì)量流量控制器是一種精確測(cè)量氣體流量的儀表，是現(xiàn)代電子設(shè)備工藝氣體流量控制的不可少的控制單元，它的原理和應(yīng)用質(zhì)量流量控制器用于對(duì)各種氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制，大量用于電子工藝設(shè)備(如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD.等離子刻蝕、濺射等)以及鍍膜設(shè)備、光導(dǎo)纖維制造中。它通常由流量傳感器、流量調(diào)節(jié)閥、放大控制器和分流器通道等組成。它的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源盒提供。流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量流過(guò)氣體的質(zhì)量流量，具有溫度、壓力囪動(dòng)補(bǔ)...

1：流量術(shù)語(yǔ)體積流量：也叫工況流量，即單位時(shí)間內(nèi)實(shí)時(shí)溫度和壓力下流體流過(guò)管道橫截面的體積。小流量的代表單位一般為：ml/min和L/min。標(biāo)況流量：通過(guò)溫度、壓力補(bǔ)償后得到的體積流量。標(biāo)況一般定義（1）壓力：1個(gè)大氣壓（101.325KPa）（2）溫度：0℃/15℃/20℃/25℃，具體溫度定義可自選。易度流量控制器默認(rèn)(25℃,101.325KPa)，單位一般為：SCCM和SLPM。質(zhì)量流量：?jiǎn)挝粫r(shí)間內(nèi)流體流過(guò)管道橫截面的質(zhì)量。易度質(zhì)量流量控制器測(cè)量出的是標(biāo)況流量，需要計(jì)...

氣體質(zhì)量流量計(jì)與質(zhì)量流量控制器是指主要適用小微流量（從0.000001m3/小時(shí)到300m3/小時(shí)，對(duì)應(yīng)管徑從直徑3mm到65mm）氣體測(cè)量和控制的傳感器和自動(dòng)化設(shè)備。按原理分類主要有兩種：1、層流壓差原理的氣體質(zhì)量流量計(jì)與質(zhì)量流量控制器；2、熱式原理的氣體質(zhì)量流量計(jì)與氣體質(zhì)量流量控制器。層流壓差原理圖層流壓差原理的質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器，因其原理特點(diǎn)，只需檢測(cè)到氣體壓差、壓力和溫度，即可測(cè)控氣體流量。易度自主設(shè)計(jì)的傳感器可檢測(cè)到極微小流量下產(chǎn)生的壓力、壓差，因此易度質(zhì)量流量...

層流壓差流量計(jì)是測(cè)控氣體流量的儀表，是計(jì)量氣體流量的計(jì)量器具。質(zhì)量流量計(jì)(MFM)和控制器(MFC)使用前需要預(yù)熱，這是熱式原理MFM/FMC產(chǎn)品的一個(gè)特點(diǎn)。為什么呢？這是由熱式原理測(cè)量方式所決定，其產(chǎn)品流道內(nèi)需另外開一旁通微小的管道，通常叫毛細(xì)管，通過(guò)把毛細(xì)管加熱到一定溫度，再通過(guò)一定的公式來(lái)計(jì)算流量。剛開機(jī)的熱式產(chǎn)品因?yàn)槊?xì)管溫度還未達(dá)到正常測(cè)量時(shí)需求的溫度，所以需要在管道通氣后先加熱到預(yù)定溫度，才可以準(zhǔn)確測(cè)量，這個(gè)加熱的過(guò)程就是預(yù)熱的過(guò)程，時(shí)間通常為5~30分鐘不等。從...

極微小流量控制器的特點(diǎn)是靈敏度高、一致性強(qiáng)、性能穩(wěn)定、精度高，標(biāo)準(zhǔn)的精度誤差為±3%（即100毫升里的誤差在上下3毫升）定制精度在±2%。小型流量計(jì)分為霍爾式和光電式兩種，霍爾流量計(jì)是由霍爾元件、磁鐵組成的；光電流量計(jì)是利用光學(xué)原理檢測(cè)，內(nèi)部不含磁鐵。需要注意的是：這兩種流量計(jì)內(nèi)部都有葉輪，所以不適合檢測(cè)啤酒、氣泡水類的液體，因?yàn)楫?dāng)液體進(jìn)入流量計(jì)內(nèi)部時(shí)，葉輪轉(zhuǎn)動(dòng)會(huì)產(chǎn)生很多氣泡，導(dǎo)致流量計(jì)精度降低。其原理如下：在直徑較細(xì)的感應(yīng)管中放置兩對(duì)加熱器，并將...

質(zhì)量流量計(jì)1什么是質(zhì)量流量計(jì)：質(zhì)量流量計(jì)，英文MassFlowMeter（簡(jiǎn)稱MFM），用來(lái)快速、精確測(cè)量過(guò)程氣體流量大小的精密傳感器。這里講的質(zhì)量流量計(jì)主要應(yīng)用于低壓、小流量的單一或混合氣體，低壓一般在1Mpa以下，最大可達(dá)3Mpa；流量范圍一般為：0.1sccm-5000slpm；單一氣體如常見(jiàn)的空氣、氦氣、氬氣等，要求相對(duì)干燥、純凈；混合氣體則需明確氣體種類和比例。2質(zhì)量流量計(jì)可獲得哪些參數(shù)：易度質(zhì)量流流量計(jì)可精確獲得氣體的實(shí)時(shí)溫度、壓力、工況流量、標(biāo)況流量和累計(jì)流量五...

多過(guò)程參數(shù)測(cè)量流量計(jì)使用單芯電纜測(cè)量，可同時(shí)測(cè)量磁定位、流量、溫度、壓力等四個(gè)參數(shù)，可按用戶需求添加其他的測(cè)量參數(shù)。所謂多參數(shù)測(cè)量，即利用傳感元件從被測(cè)對(duì)象按不同物理現(xiàn)象感受到一個(gè)以上變量，使流量傳感（變送）器功能擴(kuò)展。例如科里奧利質(zhì)量流量計(jì)測(cè)量振動(dòng)管頻率相位差，得到質(zhì)量流量；測(cè)振動(dòng)管諧振頻率得密度?；蛘咴诹髁總鞲衅骷恿硪粋鞲性ɑ騻鞲衅鳎y(cè)量另一個(gè)變量，擴(kuò)展功能或補(bǔ)償另一個(gè)變量受其他量的影響，提高測(cè)量精度等性能。儀器組成：儀器包括地面和地下兩個(gè)部分：1、地面為多參數(shù)直讀流...